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芯时纪申请模式可调的MEMS驱动检测装置专利适配大动态范围精密测量场景-必威官网
芯时纪申请模式可调的MEMS驱动检测装置专利适配大动态范围精密测量场景
栏目:公司新闻 发布时间:2026-03-20
 必威网址登陆入口  国家知识产权局信息显示,苏州芯时纪微电子有限公司申请一项名为“模式可调的MEMS驱动检测装置”的专利,公开号CN121690111A,申请日期为2025年12月。  专利摘要显示,本发明涉及一种模式可调的MEMS驱动检测装置,包括有中心锚点、中心横梁、环形外框、第一弹簧梁及第二弹簧梁,各部件通过MEMS刻蚀工艺一体化成型,整体呈环形对称的“日”字形结构;所述第一弹簧梁一端与

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芯时纪申请模式可调的MEMS驱动检测装置专利适配大动态范围精密测量场景

  国家知识产权局信息显示,苏州芯时纪微电子有限公司申请一项名为“模式可调的MEMS驱动检测装置”的专利,公开号CN121690111A,申请日期为2025年12月。

  专利摘要显示,本发明涉及一种模式可调的MEMS驱动检测装置,包括有中心锚点、中心横梁、环形外框、第一弹簧梁及第二弹簧梁,各部件通过MEMS刻蚀工艺一体化成型,整体呈环形对称的“日”字形结构;所述第一弹簧梁一端与中心横梁的端部刚性连接,另一端与环形外框的内侧壁刚性连接;所述环形外框分隔为上下镜像的两个半框结构,所述半框结构的端面构成锚点,所述锚点之间刚性连接有第二弹簧梁;通过调控两者的宽度比,实现装置在高精度模式与高输出模式之间的切换。由此,高精度模式下能抵消非线性效应、实现能量均匀分布,适配大动态范围精密测量场景,如陀螺仪、其他谐振式传感器,包括谐振式压力传感器、加计、温度传感等。

  天眼查资料显示,苏州芯时纪微电子有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本453.357万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州芯时纪微电子有限公司共对外投资了1家企业,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可3个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。